Verotronic公司提供高纯流体管路安装与改造服务,专注半导体、光伏及生物制药领域。采用EP级不锈钢与高纯PFA材质,结合自动轨道焊接与高精度检测,确保超纯介质零污染输送。覆盖新建产线及旧系统升级,满足SEMI F57与F63标准,助力客户提升良率与制程稳定性。
Verotronic超纯化学品输送系统专为半导体前道湿法工艺设计,采用全PFA流路与零死区阀门技术,确保ppb级金属离子控制与颗粒零污染。系统集成在线浓度监测与泄漏预警,适配蚀刻、清洗、光刻显影等场景,助力先进制程良率提升。
Verotronic气体柜与化学品柜专为半导体及泛半导体产线的高纯特气与湿化学品安全输送而设计,集成吹扫、负压排风、泄漏侦测与联锁控制,兼顾工艺纯度与操作安全,是厂务系统关键选型。
Verotronic尾气处理系统专为半导体制造中的有害废气净化而设计,采用高温热分解与多级洗涤技术,高效去除全氟化合物、硅烷及卤素气体。系统具备低能耗、高去除率与智能监控特点,适用于刻蚀、CVD、离子注入等工艺,是晶圆厂环保合规与稳定生产的可靠保障。
Verotronic公司在线气体与化学品监测系列,专为半导体与电子制造的高纯工艺环境设计。该系列采用多传感融合与实时反馈算法,可对气体纯度、化学品浓度及微量杂质进行连续在线分析,助力提升良率、降低耗材成本,是先进制程中过程控制的关键工具。
Verotronic化学品供应与回收系统面向半导体湿法工艺,集成高纯供液、浓度在线监测与废液回收,兼顾工艺稳定性与成本控制,适用于晶圆清洗、蚀刻及CMP等场景。
Verotronic高纯度气体输送系统专为半导体前道制程设计,采用EP级不锈钢与零死区阀组,实现ppt级金属污染控制。系统集成VCR密封与在线吹扫,保障特种气体稳定输送,适用于薄膜沉积、离子注入与刻蚀等关键环节,助力提升良率与工艺可重复性。
Verotronic高纯流体过滤与净化系列专为半导体湿法工艺设计,采用PTFE、PFA等超净材料,可高效去除超纯化学品中的颗粒、金属离子与微气泡,保障晶圆良率与制程稳定性,适用于蚀刻、清洗、CMP等关键环节。
Verotronic半导体级阀门与管件专为超高纯气体与化学品输送设计,采用电解抛光与无死区结构,确保ppb级污染控制。产品覆盖隔膜阀、波纹管阀及VCR管件,适用于晶圆制造、蚀刻与CVD工艺,以高可靠性与长寿命满足先进制程严苛要求。