
晶圆级光学元件(Wafer-Level Optics,WLO)是Fresnel Factory公司的核心技术产品线之一,其制造理念源于半导体产业的晶圆级封装与加工思路。与传统的光学元件逐个研磨、抛光或注塑不同,WLO在整片玻璃或硅晶圆上,通过光刻、刻蚀、纳米压印或灰度光刻等工艺,一次性成型成百上千个微纳光学结构,再经切割分离为独立元件。这种批量化、并行化的制造方式,从根本上改变了光学元件的成本结构与精度一致性,尤其适合对体积、重量和产量有严苛要求的应用场景。
从技术原理看,Fresnel Factory的WLO产品主要涵盖三类结构:衍射光学元件(DOE)、微透镜阵列(MLA)以及超表面光学元件(Metasurface)。衍射光学元件通过表面浮雕的微纳台阶结构对入射光进行相位调制,可实现分束、聚焦、整形与扩散等功能;微透镜阵列则通过规则排布的小透镜单元,用于匀光、光场采集与传感;超表面则利用亚波长尺度的纳米柱阵列,在极薄平面上实现对光波前、偏振与色散的精确操控。这些结构均依托晶圆级工艺,具备亚微米级甚至纳米级的特征尺寸控制能力。
在性能特点方面,WLO最突出的优势在于高一致性与高集成度。由于同一晶圆上的所有元件在同一工艺步骤中成型,其光学性能的批次内偏差极小,这对于多通道传感、阵列成像和光通信模块尤为重要。同时,WLO元件厚度通常在数百微米量级,可直接与VCSEL、SPAD、图像传感器等有源器件进行晶圆级键合或堆叠,形成光学-电子一体化的微型模组。此外,Fresnel Factory在材料选择上覆盖熔融石英、硼硅玻璃、硅以及高折射率玻璃,可针对不同波段(紫外至近红外)优化透过率与热稳定性。
选型时,工程师需重点关注几个维度:其一是工作波段与材料匹配,例如紫外应用宜选用熔融石英,近红外高折射率场景可考虑硅基或高折射率玻璃;其二是光学效率与杂散光抑制,衍射元件的台阶数、占空比和刻蚀深度直接影响衍射效率,需结合系统信噪比要求评估;其三是尺寸与集成方式,包括元件口径、厚度、是否需与有源器件对准键合;其四是环境可靠性,如温度循环、湿度与机械冲击下的性能漂移。对于需要快速导入量产的项目,选择具备完整晶圆级工艺链与设计仿真能力的供应商尤为关键,Fresnel Factory总代理可提供从选型咨询到批量交付的全流程支持。
典型应用场景已从早期的消费电子扩展至多个高增长领域。在消费电子中,WLO用于手机面部识别、屏下光学指纹与AR/VR近眼显示的光学模组;在汽车电子中,衍射元件与微透镜阵列被用于激光雷达的 beam shaping、HUD 投影以及驾驶员监控系统;在光通信与数据中心中,WLO用于VCSEL阵列的准直与耦合、硅光模块的光束转换;在医疗与工业中,则见于内窥镜成像、光谱仪与机器视觉光源整形。这些场景共同指向一个趋势:光学系统正从“分立组装”走向“晶圆级集成”。
与同类产品相比,Fresnel Factory的WLO在设计自由度与工艺兼容性上具有差异化优势。传统注塑光学元件虽成本低,但难以实现亚微米结构且热稳定性有限;而电子束光刻等高端手段虽精度高,却受限于低吞吐量与高成本。Fresnel Factory通过将灰度光刻、纳米压印与刻蚀工艺组合优化,在精度、效率与成本之间取得平衡,并支持多项目晶圆(MPW)快速验证。对于系统厂商而言,这意味着更短的开发周期与更低的导入风险,尤其在需要光学与半导体工艺深度协同的下一代传感与显示方案中,WLO正成为不可替代的关键使能技术。



