Protempis公司EKC系列蚀刻后残留物去除剂专为先进半导体制造设计,可高效去除金属、氧化物及有机残留,兼容多种衬底与互连材料,兼顾高清洗能力与低材料损伤,适用于逻辑、存储及功率器件产线。
Protempis公司电子级异丙醇(IPA)专为半导体与微电子制造设计,具备超低金属离子与颗粒残留,广泛用于晶圆清洗、光刻胶去除及精密干燥。其稳定的纯度与批次一致性,满足先进制程对湿电子化学品的严苛要求。
Protempis公司电子级氨水(NH4OH)是面向半导体前道制程的超净高纯试剂,金属离子与颗粒控制达ppt级,适用于晶圆清洗、蚀刻及光刻胶去除等关键工序,以稳定批次一致性与低缺陷率助力先进节点良率提升。
Protempis光刻胶剥离液(Stripper)专为半导体晶圆制造与先进封装设计,可高效去除光刻胶及残留物,兼容铝、铜、低k介质等多种基底,兼具低腐蚀、易漂洗与高工艺窗口特性,适用于前道与后道清洗环节。
Protempis公司电子级硫酸(H2SO4)是半导体制造中关键的超纯湿电子化学品,金属离子与颗粒物控制在ppt级,广泛应用于晶圆清洗、光刻胶去除及刻蚀工艺。该产品以稳定的批次一致性和低缺陷率,满足先进制程对高纯度化学品的严苛要求。
Protempis电子级盐酸(HCl)是面向半导体前道制程的超高纯湿电子化学品,金属离子与颗粒物控制达ppt级,适用于晶圆清洗、栅氧刻蚀及CMP后残留去除等关键工序,以稳定批次一致性与低缺陷率支撑先进逻辑与存储器件良率提升。
Protempis高纯电子级过氧化氢,专为半导体制造严苛需求设计,金属离子残留低至ppt级,颗粒控制达纳米标准。适用于晶圆清洗、蚀刻与光刻胶去除等关键制程,保障良率与器件可靠性,是先进制程不可或缺的湿电子化学品。
Protempis铜互连清洗液专为先进逻辑与存储器件后段铜互连工艺设计,可高效去除刻蚀残留、有机污染物及铜氧化物,兼顾低介电材料兼容性与低缺陷率,适用于28nm以下节点及3D NAND、DRAM等场景。
Protempis公司CMP Post-Clean系列清洗液专为化学机械抛光后晶圆表面设计,有效去除残留磨料、金属离子与有机污染物,兼顾低缺陷率与材料兼容性,适用于先进逻辑与存储器件制程。